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原位芯片
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    微流控器件
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    二维材料器件
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    悬臂梁是一种一端是固定支座,另一端为自由端的器件,因其具有较高的敏感性、精确性、稳定性等特点,广泛被应用于气体传感器、化学传感器等。悬臂梁的设计和工艺加工成熟度直接影响其性能,原位芯片凭借其丰富的设计及加工经验,为客户提供定制化的悬臂梁设计及加工服务。

    应用范围


    利用悬梁的谐振频率或相位参数,可以测量压力、真空度、加速度等物理量。

    工艺能力


     加工线宽:百纳米-百微米  加工材料:硅、SOI、氮化硅  悬梁类型:静电驱动、加热型、加电型

    我们的优势


     结合材料广泛  设计经验丰富  释放工艺成熟

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